激光解鍵合、剝離、清洗功能一機(jī)完成
正方形平頂光斑、最大限度減小晶圓損傷并提高解鍵合效率
實(shí)時(shí)監(jiān)控與自動(dòng)補(bǔ)償，確保加工的穩(wěn)定性
提供配套波長(zhǎng)的鍵合膠
| 型號(hào) | LD1120 / LD1140 |
| 激光波長(zhǎng) | 355nm/1340nm |
| 晶圓尺寸 | 6寸、8寸、12寸 |
| 激光功率 | 15/30W@355nm, 100W@1340nm |
| 聚焦光斑尺寸 | X:0.2mm~1.0mm, Y:0.2mm~1.0mm |
| 激光能量密度 | 0.05-1J/cm2 |
| 典型激光掃描時(shí)間 | 100 sec@12寸 |
